近年来由于在薄膜材质上取得了突破性的进展，薄膜泵在世界国家和我国得到了越来越多的应用，占据了其它泵的一些领域。仪器行业使用较多的薄膜泵常常也称为微型真空泵。目前质量的微型真空泵有德国、美国等进口产品和国产气海品牌。的微型真空泵经过不利工况下长时间运转试验，可靠性大大一般产品。作为主要运转部件，采样动力宜选用质量可靠的微型真空泵。采样装置将收集器、流量计、抽气泵及气样预处理、流量调节、自动控制等部件组装在一起，就构成采样装置。